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PDMS芯片造作方便、成本低、生物相容性好,是前期验证微流控尝试的绝佳芯片解决规划.此芯片加工系统支持定造。我们提供PDMS芯片加工尝试室设计与搭建的一站式服务,从干净间设计到尝试室布局,再到设备选择,以及您采购后的装置调试及培训,您只必要提出需要,我们能够做到交钥匙工程。当然,系统里的每个�?橐仓С值ザ朗勐�,您能够凭据自己需要遴选设备。
PDMS芯片造作工艺通常蕴含以下步骤:① 洗濯;② 匀胶;③ 曝光光刻;④ 显影;⑤ 烤胶;⑥ PDMS成型;⑦ 等离子表表活化处置;⑧ 键合;⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系统能够顺利实现以上所有流程。
PDMS芯片造作
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项目
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参数
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合用芯片
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PDMS芯片造作
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最幼结构分辨率
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2um
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处置基板尺寸
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4”(φ10cm)
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工艺及设备对应表格:
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工艺名称
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设备仪器名称
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型号
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洗濯
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等离子洗濯机
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CUTE
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超声洗濯机
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市售尺度型号
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匀胶
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匀胶显影机
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SC100
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PDMS成型机
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ZentriForm
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曝光光刻(2选1)
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曝光机
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UV-KUB 2
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UV-KUB 3
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显影(2选1)
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匀胶显影机
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SC100
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简易显影池
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客户自备
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烤胶
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精密热板
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HP100
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PDMS成型(2选1)
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PDMS成型机
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ZentriForm
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造就皿/热板
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客户自备造就皿/HP100
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表表活化处置
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等离子洗濯机
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CUTE
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键合
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精密热板
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HP100
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打孔
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打孔器
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PDMS Port Creator
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打孔针
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市售尺度型号
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