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PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备

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CD-1000-PLC等离子洗濯机技术资料

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PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备

PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备 ,是一款专为精密表表工程设计的高端工具 。其铝质机关的450 x 300 x 300mm反映舱建设可视窗口 ,提供40.5升的宽敞处置空间 ,支持大领域的尝试需要 。选取怪异的二级等离子设计和水冷电极 ,PlasmaX-Lab保障了处置过程中的极致均匀性和效能 ,满足了高精度表表处置的严格要求 。

该设备搭载高效的螺杆真空泵和精确的薄膜规真空计 ,能急剧达到所需的处置环境 ,同时保障过程中的不变性 。其PLC节造系统通过触摸屏操作 ,提供自动化处置流程、精确监控和参数调整能力 ,大大提高了操作方便性和处置的可反复性 。PlasmaX-Lab还支持双气体输入 ,配有先进的气体流量节造器和液体输入系统 ,确保了处置过程的矫捷性和多样性 。

此表 ,PlasmaX-Lab强调安全机能 ,建设急�?匾杂Χ源刮G榭� ,确保使用过程中的安全 。其380V AC, 50HZ, 40A的电源需要 ,共同0~300W可调的频射发生器 ,使得该设备不仅合用于多种资料处置 ,同时也两全环保和能效 。


设备参数

反映舱

资料:铝

有效尺寸:450 x 300 x 300mm

容积:40.5升

舱门:装有可视窗口

电极:二级等离子设计 ,保障单层均匀性和层间均匀性 。同时蕴含水冷电极 。

样品盘:1套 ,尺寸:350 x 250mm

真空度丈量

薄膜规真空计 ,保障真空度丈量精度

真空泵

螺杆真空泵;24m3 /h

频射发生器

0~300W可调 ,MHz发生器

节造系统

触摸屏操作 ,PLC节造系统

PLC可实现下列职能:

自动节造反映过程;

凭据处置资料设定分歧的处置工艺流程;

测定真空度、抽真空功夫、充气流速、处置功夫、温度、频射发生器输入功率等指标;

监测所有的运行指标 ,保障在设定领域之内;

设定操作、守护密码 。

电源

380V AC, 50HZ, 40A

反映气体

2个气体输入端口 ,含气体流量节造器(MFC) 。

气体输入

直径1/4’’ 管路;输入压力:1Bar.

液体输入

蕴含液态单体气扮装置 ,能够设定液态单体流量 ,气化温度

尾气排放

蕴含尾气输出端口

安全机能

急�?�

电话征询
010-58237766
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